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Specification
| Item | Style | Description | ||||||||||||||
| 1 | SEMISHARE | Probe Station | ||||||||||||||
| E6 | 탐침대 | |||||||||||||||
| Weight Around 95kg With Microscope | ||||||||||||||||
| •현미경 포함 무게 약 95kg 정도 | ||||||||||||||||
| Dimensions: 680mmL*670mmW*760mmH | ||||||||||||||||
| •사이즈 : 길이 680mm * 폭 670mm * 높이 760mm | ||||||||||||||||
| Chuck Stage X-Y Travel 6"-6" with 10 micron resolution and each axis got self-locking damping | ||||||||||||||||
| •척 테이블은 간편한 조절 모드로 X/Y 방향 스트로크: 6인치*6인치, 정확도: 10micron, 각 축에 자체 잠금 댐핑 포함 | ||||||||||||||||
| Chuck Stage is Backlash Free moving with 1mm/thread | ||||||||||||||||
| •척 X/Y축은 빈틈없이 이동하며, 한 바퀴 회전당 1mm씩 진행 | ||||||||||||||||
| The Standard Chuck Can Rotate +-45° Backlash Free | ||||||||||||||||
| •척은 +-45° 빈틈없이 회전 가능 | ||||||||||||||||
| Chuck fine rotation resolution is 0.002° | ||||||||||||||||
| •척 각도 회전 미세 조정 가능 정밀도 0.002° | ||||||||||||||||
| Chuck quick lift Up/Down 5 mm with probing height adjustable | ||||||||||||||||
| •척 테이블은 5mm를 상하로 빠르게 오르내릴 수 있어, 샘플의 신속한 탐침 분리가 용이합니다. | ||||||||||||||||
| Chuck up and down fine adjustment 6mm with 1micron resolution | ||||||||||||||||
| •척 미세조정 승강, 스트로크 6mm, 정밀도 1마이크로미터 | ||||||||||||||||
| Microscope X-Y Travel 2" x 2" ，1 micron Resolution | ||||||||||||||||
| •조절 가능한 현미경은 X-Y 평면 2" x 2" 범위 내에서 이동하며 정확도는 1마이크로미터(현미경 미포함 시스템) | ||||||||||||||||
| Microscope Quick Pneumatic Up and Down 50mm | ||||||||||||||||
| •현미경 에어리프트 50mm로 대물렌즈 교체 용이(압축공기 필요) | ||||||||||||||||
| For Probing Height Adjustable Specifically for Probe Card Tip Overdrive Setup | ||||||||||||||||
| •승강 조절 가능 프로브 카드 추가 장착에 적합 | ||||||||||||||||
| Adaptive damping structure | ||||||||||||||||
| •적응형 댐핑 구조 | ||||||||||||||||
| 2 | SEMISHARE | 상온삼축다공척 | 6inch | H2 : 수입 모기향 발열선 적용 (고온 200°C까지 척 온도 균일성 최고) | ||||||||||||
| H2Tn-P-T | High Temperature Triaxial Chuck | |||||||||||||||
| n=6 | Diameter ：155mm | |||||||||||||||
| •지름 : 155mm | ||||||||||||||||
| Thickness ：46.6mm | ||||||||||||||||
| •두께 : 46.6mm | ||||||||||||||||
| Chuck Flatness : ±10µm | ||||||||||||||||
| •척 평탄도: ±10 µm | ||||||||||||||||
| Vacumm Type：Central Hole+ Circumjacent Multiholes | ||||||||||||||||
| •진공흡착방식: 중심흡착공+주변다공흡착 | ||||||||||||||||
| Hole Diameter ：0.4mm and it is connecting with the adjacent 3mm section Multiholes internally | ||||||||||||||||
| •흡착공 구멍 직경 : 0.4mm, 중심 구멍과 직경 3mm 위치의 흡착공 내부 기로 연통 | ||||||||||||||||
| Vacuum holes sections(diameter): 3, 27, 45, 69, 93, 117, 141 mm | ||||||||||||||||
| •주변흡착공 분포링의 직경(mm) : 3, 27, 45, 69, 93, 117, 141 mm | ||||||||||||||||
| Central Vacuum Hole and Grooves can be controled by Zone as below(except for fullauto prober) | ||||||||||||||||
| •센터 흡착공과 흡착조의 진공채널은 다음과 같이 분할하여 독립적으로 제어하는 방식(전자동 프로브 스탠드용 척 제외) | ||||||||||||||||
| single die | zone 1 | central hole+3mm | ||||||||||||||
| 2inch | zone 2 | 27mm+45mm | ||||||||||||||
| 4inch | zone 3 | 69mm+93mm | ||||||||||||||
| 6inch | zone 4 | 117mm+141mm | ||||||||||||||
| Triaxial Chuck With Top plate，Guard and Ground | ||||||||||||||||
| •척은 3축 구조로 Top plate 층, Guard 층, Ground 실드 층 포함 | ||||||||||||||||
| Chuck Top Plate is Electrical Floating with 2 M3 threaded holes and screws for cable wiring | ||||||||||||||||
| •척 Top plate 전기 독립 현공, M3 나사 구멍 2개 부착 (시험선 접합용) | ||||||||||||||||
| Leakage Current：Coaxial 1pA/V @25℃；Triaxial 100fA/V @25℃ | ||||||||||||||||
| •누설 전류: 동축 1pA/V @25℃, 3축 100fA/V @25℃, 시험 조건: 접지 차폐의 건조(공기 이슬점 -40℃ 이하) 환경 | ||||||||||||||||
| Temperaturn Range: RT~200℃ | ||||||||||||||||
| •온도범위 : 상온~200℃ | ||||||||||||||||
| Temp. set and display resolution: 0.1℃ | ||||||||||||||||
| •온도 설정 및 표시 해상도 : 0.1℃ | ||||||||||||||||
| Temp. Stability: ±0.1℃ | ||||||||||||||||
| •온도 안정성 : ±0.1℃ | ||||||||||||||||
| Temp. Uniformity: RT~100℃ <±0.5℃； 100~200℃ <±0.5% | ||||||||||||||||
| •온도 균일성 : 실온~100℃ <±0.5℃; 100~200℃ <±0.5% | ||||||||||||||||
| Chuck temperature heating and cooling rate is as follows: | ||||||||||||||||
| •척의 승강 온도 속도는 다음과 같다. | ||||||||||||||||
| Heating rates for 300mm chuck system | ||||||||||||||||
| +25°C to +150°C : 20min | ||||||||||||||||
| +25°C to +200°C : 30min | ||||||||||||||||
| Cooling Rates for 300mm chuck system | ||||||||||||||||
| +150 °C to +25 °C : 30분 (냉각 냉각 모듈 선택 시 도달) | ||||||||||||||||
| +200°C to +25°C : 40분 (냉각 냉각 모듈 선택 시 도달) | ||||||||||||||||
| HC100 | Chuck Temperature control system | |||||||||||||||
| •척온도제어시스템 | ||||||||||||||||
| Touch Panel and Program control | ||||||||||||||||
| •터치스크린 제어, 프로그래밍으로 온도 상승 제어 가능 | ||||||||||||||||
| Interfaces : RS485C | ||||||||||||||||
| •RS485 통신 인터페이스가 있어 사용자가 선택해야 하는 모든 파라미터를 컴퓨터로 제어할 수 있습니다. | ||||||||||||||||
| Could measure the chuck surface temp. precisely by semishare's temperature compensation function | ||||||||||||||||
| •온도 보상 기능으로 Chuck 표면의 실제 온도를 정확하게 표시 | ||||||||||||||||
| 3 | SEMISHARE | Microscope Stereo | ||||||||||||||
| SS-M | 입체 현미경 | |||||||||||||||
| E.P. 20X | ||||||||||||||||
| •접안경 배율 : 20배 | ||||||||||||||||
| Zoom 0.8X-5X | ||||||||||||||||
| •변배 : 0.8배~5배 | ||||||||||||||||
| Total Mag. 16X-100X | ||||||||||||||||
| •총 배율 : 16배~100배 | ||||||||||||||||
| Microscope focus block :Z Travel 50.8 mm | ||||||||||||||||
| •현미경 초점 조절 기구 : Z축 이동 스트로크 50.8mm | ||||||||||||||||
| C Mount Adapter | ||||||||||||||||
| •CCD 인터페이스, CCD 인터페이스 형식은 C 마운트 형식 | ||||||||||||||||
| Optical magnification of microscope = eyepiece * zoom ratio | ||||||||||||||||
| •광학배율 = 접안렌즈*줌배율 | ||||||||||||||||
| Ring shape LED White Light Intensity Stepless Control | ||||||||||||||||
| •링 LED 광원(밝기 무단조절 가능) | ||||||||||||||||
| 4 | SEMISHARE | HDMI interface HD (2 megapixels) CCD | ||||||||||||||
| O200C | HDMI 인터페이스 고화질(200만 화소) CCD | |||||||||||||||
| 중국 | 1/2.5 SONY CCD sensor | |||||||||||||||
| •1/2.5인치 SONY CCD | ||||||||||||||||
| the resolution is 1920*1080 | ||||||||||||||||
| •해상도 1920*1080 달성 | ||||||||||||||||
| frame rate 60 FPS | ||||||||||||||||
| •프레임 레이트 60fps | ||||||||||||||||
| with SD card, it can store images in uncompressed BMP format. | ||||||||||||||||
| •SD 카드를 가지고 있어 압축되지 않은 BMP 형식의 이미지를 저장할 수 있다. | ||||||||||||||||
| with 5m HDMI video cable | ||||||||||||||||
| •HDMI 비디오 케이블 포함, 5m 길이 | ||||||||||||||||
| 5 | 21.5 inch HD display | |||||||||||||||
| 21.5 inch 고화질 모니터 | ||||||||||||||||
| With HDMI and VGA ports | ||||||||||||||||
| •HDMI와 VGA 인터페이스 포함 | ||||||||||||||||
| 6 | SEMISHARE | Micropositioner for DC | ||||||||||||||
| SS-125-M | DC 탐침자리 | |||||||||||||||
| Weight Around 1000 g | ||||||||||||||||
| •중량 : 1000g 내외 | ||||||||||||||||
| Dimensions: 115mmL*100mmW*112mmH | ||||||||||||||||
| •사이즈 : 115mm 길이*100mm 너비*112mm 높이 | ||||||||||||||||
| Magetic Base with Switch | ||||||||||||||||
| 자력 흡착, 베이스 스위치 부착 | ||||||||||||||||
| Linear X-Y-Z Travel 12mm-12mm-12mm | ||||||||||||||||
| •X-Y-Z 방향의 이동 스트로크는 각각 12mm | ||||||||||||||||
| Linear Motion | ||||||||||||||||
| •선형 이동 | ||||||||||||||||
| Swiss made screw | ||||||||||||||||
| •스위스제 정밀치구 | ||||||||||||||||
| 0.6 Micron/° Resolution | ||||||||||||||||
| •이동 해상도 0.6마이크로미터/도 | ||||||||||||||||
| 7 | SEMISHARE | Triaxial Tip Holder | ||||||||||||||
| T2H | 3축이음지그 | |||||||||||||||
| Leakage 100FA With Condition of Shielding Box | ||||||||||||||||
| •실드박스 누전 정밀도 100FA 가능 | ||||||||||||||||
| The cable part is 1 meters | ||||||||||||||||
| •고객 요청 라인 길이 1m만 필요 | ||||||||||||||||
| Installation kits：slot type screwdriver | ||||||||||||||||
| •탐침용 일자 드라이버 설치 | ||||||||||||||||
| 8 | SEMISHARE | Micropositioner for RF | ||||||||||||||
| SS-125-M | RF 프로브자리 | |||||||||||||||
| Weight Around 1000 g | ||||||||||||||||
| •중량 : 1000g 내외 | ||||||||||||||||
| Dimensions: 115mmL*100mmW*112mmH | ||||||||||||||||
| •사이즈 : 115mm 길이*100mm 너비*112mm 높이 | ||||||||||||||||
| Magetic Base with Switch | ||||||||||||||||
| •자력흡착,베이스 스위치포함 | ||||||||||||||||
| Linear X-Y-Z Travel 12mm-12mm-12mm | ||||||||||||||||
| •X-Y-Z 방향의 이동 스트로크는 각각 12mm | ||||||||||||||||
| Linear Motion | ||||||||||||||||
| •선형 이동 | ||||||||||||||||
| Swiss made screw | ||||||||||||||||
| •스위스제 정밀치구 | ||||||||||||||||
| 0.6 Micron/° Resolution | ||||||||||||||||
| •이동 해상도 0.6마이크로미터/도 | ||||||||||||||||
| 9 | SEMISHARE | RF Micropositioner Adapter | ||||||||||||||
| SS-100-RF1-N | 무선주파수 프로브 조절장치 | |||||||||||||||
| 동서 각 1개씩 | Fine mechanical tilting in +-8°，resolution 0.1° | |||||||||||||||
| •멀티 프로브 수평 조정 다이얼, +-8° 조절 가능, 정확도 0.1도 | ||||||||||||||||
| 10 | Installation，System | |||||||||||||||
| 시스템 설치 및 디버깅 | ||||||||||||||||
| On-site system installation of Cryogenics SEMISHARE Probe Station by certified SS Service Engineer | ||||||||||||||||
| INCLUDES:Travel to/from customer site (one trip for install and training) | ||||||||||||||||
| Probe station assembly | ||||||||||||||||
| Thermal system calibration | ||||||||||||||||
| Probe station system verification | ||||||||||||||||
| System training hardware & prober control software | ||||||||||||||||
| 11 | After Service（consumable parts not included ) | |||||||||||||||
| A/S(소모품류 품질보증 제외) | ||||||||||||||||
| semishare guarantee to keep all the SS probe station system in good repair | ||||||||||||||||
| All the fees are on semishare during the first year except for man-made damage | ||||||||||||||||
| For details please consult the After Service Files semishare provide | ||||||||||||||||
Option
| Installation，System | ||||||||
| 시스템 설치 및 디버깅 | ||||||||
| On-site system installation of Cryogenics SEMISHARE Probe Station by certified SS Service Engineer | ||||||||
| INCLUDES:Travel to/from customer site (one trip for install and training) | ||||||||
| Probe station assembly | ||||||||
| Thermal system calibration | ||||||||
| Probe station system verification | ||||||||
| System training hardware & prober control software | ||||||||
| After Service（consumable parts not included ) | ||||||||
| A/S(소모품류 품질보증 제외) | ||||||||
| semishare guarantee to keep all the SS probe station system in good repair | ||||||||
| All the fees are on semishare during the first year except for man-made damage | ||||||||
| For details please consult the After Service Files semishare provide | ||||||||
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