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    프로브스테이션 SEMISHARE probestation H6

    제조사
    Probestation SEMISHARE

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    본문

    Detail view
    SEMISHARE H6/H6/H12 Probestation
    Specification

     

    Item Style Description
    1 SEMISHARE Probe Station
    H12 탐침대 본체
     Weight Around 280kg
    •총중량 약 280kg
     Dimensions:1000mmL*765mmW*727mmH(Reference size, may vary slightly depending on microscope model)
    •사이즈 : 1000mm 길이*765mm 너비*727mm 높이 (사이즈 참고, 현미경 모델에 따라 미세하게 변동됨)
     The Standard Chuck Can Rotate +-45° Backlash Free 
    •척은 +-45° 빈틈없이 회전 가능
     Chuck fine rotation resolution is 0.004°
    •척 각도 회전 미세 조정 가능 정밀도 0.004°
     Chuck X/Y axis is controlled by comfortable large handle. The stroke is 12X12 inches and each axis got self-locking damping    
    •척 X/Y축은 컴포트 빅 핸들 회전 제어, 스트로크: 12인치 X 12인치, 각 축에 자체 잠금 댐핑 포함
     Chuck X/Y can move in fast or precisely mode to match different application.
    •척 X/Y축 이동은 빠른 이동 또는 미세 조정 이동 방식을 채택하여 서로 다른 작업 환경에 대응할 수 있다
     Under precisely mode,chuck Stage is 1 micron Resolution Backlash Free moving with 1mm/thread
    •미세조정 이동모드 : 척 X/Y축은 빈틈없이 이동, 이동정밀도 1 µm, 한바퀴 회전당 1mm 주행
     Microscope X-Y Travel 2" x 2" ，1 micron Resolution
    •조절 가능한 현미경은 X-Y 평면 2" x 2" 범위 내에서 이동하며 정확도는 1마이크로미터(현미경 미포함 시스템)
     Microscope Quick Pneumatic Up and Down 50mm
    •현미경 에어리프트 50mm로 대물렌즈 교체 용이(압축공기 필요)
     Platen Quick lift Up/Down 3mm or 300um by easy-gripped Lever Handle
    •탐침대는 빠른 승강이 가능, 3mm와 300um 2단 선택 가능
     Platen Up/Down Fine 30mm by Huge Knob With Resolution 1 micron
    •탐침대는 위아래로 미세 조정할 수 있으며, 스트로크는 30mm, 승강 정밀도는 1µm이다.
     For Probing Height Adjustable Specifically for Probe Card Tip Overdrive Setup
    •프로브 플랫폼의 승강 조절 기능은 프로브 카드를 추가 설치하기에 적합하며, 핀 카드 재배치를 용이하게 하고 칩 테스트를 빠르게 전환합니다.
    2 SEMISHARE 상온삼축홈형척 12inch
    RTn-U-T Room Temperature Triaxial Chuck
    n=12  Diameter ：310mm
    •지름 : 310mm
     Thickness ：4 inch：28mm；6 inch/8 inch/12 inch：35.5mm
    •두께 : 4인치 : 28mm; 6인치 / 8인치 / 12인치 : 35.5mm
     Chuck Flatness : ±10µm
    •척 평탄도: ±10 µm
     Vacumm Type： Central Hole+ Circumjacent Grooves 
    •진공흡착방식: 중심흡착공+주변다륜흡착조
     Central Hole Diameter ：0.4mm and it is connecting with 3mm groove internally
    •중심 구멍 직경: 0.4mm, 중심 구멍과 3mm 흡착조 내부 기로 연결
     Vacuum grooves sections(diameter): 3, 27, 45, 69, 93, 117, 141, 164, 194, 214, 254, 294 mm
    •주변흡착홈 직경(mm) : 3, 27, 45, 69, 93, 117, 141, 164, 194, 214, 254, 294 mm
     Central Vacuum Hole and Grooves can be controled by Zone as below(except for fullauto prober)
    •센터 흡착공과 흡착조의 진공채널은 다음과 같이 분할하여 독립적으로 제어하는 방식(전자동 프로브 스탠드용 척 제외)
    single die zone 1 central hole+3mm
    2inch zone 2 27mm+45mm
    4inch zone 3 69mm+93mm
    6inch zone 4 117mm+141mm
    8inch zone 5 164mm+194mm
    12inch zone 6 214mm+254mm+294mm
     Triaxial Chuck With Top plate，Guard and Ground
    척은 3축 구조로 Top plate 레이어, Guard 레이어, Ground 실드 레이어 포함
     Chuck Top Plate is Electrical Floating with 2 M3 threaded holes and screws for cable wiring
    •척 Top plate 전기 독립 현공, M3 나사 구멍 2개 부착 (시험선 접합용)
     Leakage Current： 50fA/V @25℃
    •누설전류: 50fA/V @25℃, 시험조건: 접지차폐의 건조(공기노점 -40℃ 이하)환경
    3 MEDO Vacuum Pump 7 Liter/min
    VP0125 무음오일프리진공펌프 7리터/분
     Attainable vacuum: -33.3kPa（ -250mmHg）
    •도달진공도 : -33.3kPa(-250mmHg)
    4 Motic Microscope
    PSM-1000 장거리 현미경 (레이저 로딩 가능)
     Hight Resolution and Long working distance of Motic
    •Motic 고해상도 장거리 현미경
     Zoom 1X and 2X
    •변배 1X와 2X
     Eyepiece: 10X
    •접안경: 10X
     Microscope focus block :Z Travel 50.8 mm,1um resolution
    •현미경 초점 조절 기구: Z축 이동 스트로크 50.8mm, 동축 다이얼로 조정, 미세 조정 정밀도는 1마이크로미터 이상
     1X C Mount Adapter
    •CCD 인터페이스 형식 1배 C 마운트
     Manual object turret （4 holes）
    •수동물경 코바퀴 전환 (4공)
    Motic  Objective: 5X(working distance: 34.0mm,NA:0.14)
    ELWD •대물렌즈: 5X(작업거리:34.0mm,NA:0.14)
    Motic  Objective: 10X(working distance: 33.5mm,NA:0.28)
    ELWD •대물렌즈: 10X(작업거리: 33.5mm,NA:0.28)
    Motic  Objective: 20X(working distance: 20mm,NA:0.42)
    ELWD •대물렌즈: 20X(작업거리: 20mm,NA:0.42)
     Optical magnification of microscope = eyepiece * objective lens * zoom ratio
    •현미경 광학배율 = 접안렌즈*대물렌즈*줌배율
    Semishare  150W High Power White Light Intensity Stepless Control
    LS-2 •150W 고출력 백색 조명등 광원(밝기는 무단계 조절 가능)
    5 SEMISHARE HDMI interface HD (8 megapixels) CCD 
    XP4K8MA HDMI 인터페이스 고화질(800만 화소) CCD
    중국  1/1.8" SONY CCD sensor
    •1/1.8" 인치 SONY CCD
     the resolution is 3640*2160
    •해상도 3640*2160 달성     
     frame rate 60 FPS(HDMI) ,30fps(USB/NETWORK)
    •帧率60fps(HDMI), 30fps(USB/NETWORK)
     with usb interface
    •U디스크 인터페이스 구비
     with network interface
    •이더넷 인터페이스 구비
     with SD card, it can store images in  JPEG or TIFF format.
    •SD 카드를 지참하여 BMP 또는 TIFF 형식의 이미지를 저장할 수 있습니다.
     with 5m HDMI video cable
    •HDMI 비디오 케이블 포함, 5m 길이
     built-in length measurement software
    •길이 측정 소프트웨어 내장
    6 21.5 inch HD display
     21.5 inch 고화질 모니터
     With HDMI and VGA ports
    •HDMI와 VGA 인터페이스 포함
    7 SEMISHARE Micropositioner
    SS-125-m 탐침자리
     Weight Around 1000 g
    •중량 : 1000g 내외
     Dimensions: 110mmL*61mmW*100mmH
    •사이즈 : 110mm 길이*61mm 너비*100mm 높이
     Magnetic Base with Switch
    •자력흡착,베이스 스위치포함
     Linear X-Y-Z Travel 14mm-14mm-14mm
    •X-Y-Z 방향의 이동 스트로크는 각각 14mm
     Linear Motion
    •선형 이동
     Swiss made screw
    •스위스제 정밀치구
     0.6 Micron/° Resolution
    •이동 해상도 0.6마이크로미터/도
    8 SEMISHARE Triaxial Tip Holder
    T2H 3축이음지그
     Leakage 100FA With Condition of Shielding Box
    •실드박스 누전 정밀도 100FA 가능
     Cable length is 2 meters
    •선길이 2미터
     Installation kits：slot type screwdriver 
    •탐침용 일자 드라이버 설치
    9 ST-20-2.0 Probe Tip
    5 micron tip diameter probe, 5PC/BOX
    5마이크로미터 바늘 끝 지름 프로브, 5PC/BOX, 경침
    10 Daeil Vibration Free Table
    DVIO 방진 테이블
     Dimension: 90cmL x 90cmW（For reference only,The actual size will be adjusted according to the probe station）
    •사이즈 : 길이 90cm x 너비 90cm (이 사이즈는 참조 사이즈로 실제 사이즈는 프로브 스탠드에 맞게 조정됩니다)
     Veritical Natural Frequency 1.5Hz
    •수직 진성 주파수 1.5Hz
     Horizongtal Natural Frequency 1.2Hz
    •수평 진성 주파수 1.2Hz
     4 Foot Cup and Castors
    •머그컵과 캐스터
     Weight Around 300kg
    •하중 300kg 내외
    11 SEMISHARE Vibration Free Table Optical Top
    방진테이블광학패널(알루미늄제)
     Weight Around 30kg
    •중량: 30kg 내외 (해당 중량은 참고 중량으로 프로브 스탠드에 따라 실제 중량이 조정됩니다)
     Dimension:1200mmL x 900mmW x10mmH（For reference only,The actual size will be adjusted according to the probe station）
    •사이즈: 1200mm 길이*900mm 폭*10mm 두께 (이 사이즈는 참조 사이즈로 실제 사이즈는 프로브 스탠드에 맞게 조정됩니다)
    12 Installation，System
    시스템 설치 및 디버깅
    On-site system installation of Cryogenics SEMISHARE Probe Station by certified SS Service Engineer
    INCLUDES:Travel to/from customer site (one trip for install and training)
    Probe station assembly
    Thermal system calibration
    Probe station system verification
    System training -hardware & prober control software
    13 After Service（consumable parts not included )
    A/S(소모품류 품질보증 제외)
    semishare guarantee to keep all the SS probe station system in good repair
    All the fees are on semishare during the first year except for man-made damage 
    For details please consult the After Service Files semishare provide
    Option

     

    SEMISHARE Vibration Free Table Optical Top
    방진테이블광학패널(알루미늄제)
     Weight Around 30kg
    •중량: 30kg 내외 (해당 중량은 참고 중량으로 프로브 스탠드에 따라 실제 중량이 조정됩니다)
     Dimension:1200mmL x 900mmW x10mmH（For reference only,The actual size will be adjusted according to the probe station）
    •사이즈: 1200mm 길이*900mm 폭*10mm 두께 (이 사이즈는 참조 사이즈로 실제 사이즈는 프로브 스탠드에 맞게 조정됩니다)
    Installation，System
    시스템 설치 및 디버깅
    On-site system installation of Cryogenics SEMISHARE Probe Station by certified SS Service Engineer
    INCLUDES:Travel to/from customer site (one trip for install and training)
    Probe station assembly
    Thermal system calibration
    Probe station system verification
    System training -hardware & prober control software
    After Service（consumable parts not included )
    A/S(소모품류 품질보증 제외)
    semishare guarantee to keep all the SS probe station system in good repair
    All the fees are on semishare during the first year except for man-made damage 
    For details please consult the After Service Files semishare provide
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